微纳加工平台
引力中心洁净室已于2022年底搬入新建成的精密重力测量研究设施所属MEMS洁净室，洁净室平台简介如下。
（更新时间，2023年7月）
微纳加工设备
检测设备
依托精密重力测量国家重大科技基础设施，课题组承担建设了旋转加速度计重力梯度仪集成测试平台及海空环境仿真模拟平台，具备加速度计性能测试，重力梯度仪集成测试及海空环境仿真模拟等能力。
重力梯度标定平台
加速度计测试平台
海空环境仿真模拟平台
冲击及振动测试试验台（冲击加速度大于1000g，振动加速度大于5g）
带温箱双轴转台（定位精度2"）
三轴惯性稳定平台（指向精度优于1mrad）
复杂运动模拟器（行程400mm，负载1吨）
温度与磁场仿真模拟装置（温控精度0.1℃，磁场仿真变化大于300μT）
温湿度模拟装置（温度模拟范围-50℃-80℃，升温速度5℃/min）
负责人：刘骅锋 办公电话：027-87558394