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重力测量组参加“中国微米纳米协会第十七届学术年会”

作者: 来源:办公室 发布时间:2015年10月17日 00:00 点击次数:[]

2015年10月12-14日,重力测量组(航空)的涂良成教授、刘金全副教授、范继副研究员、博士生伍文杰等参加了在上海举行的“中国微米纳米协会第十七届学术年会”。其间博士生伍文杰做了题为“A Novel Sandwich Capacitive In-plane nano-g MEMS accelerometer”(一种新型“三明治”电容式面内纳g微机械加速度计)和题为“Photosensitive Polyimide Based Insulating Layer for Microelectromechanical Systems Applications”(光敏聚酰亚胺作为绝缘层在微机械系统中的应用)的报告,博士生唐世豪做了题为“基于MEMS的重力梯度仪设计及匹配方案分析”的报告,硕士生郑盼盼做了题为“MEMS电容式加速度计的封装及封装结果对灵敏度的影响”的报告,硕士生马晓冬做了题为“凸点电镀Sn衬底层金属的湿法刻蚀方法”的报告,并展出了“Anneal Temperature Influences on Low Temperature Au/Sb Ohmic Contacts formation to N-type Silicon”(N型硅低温Au/Sb欧姆接触制作中退火温度的影响)的海报,与参会人员就MEMS领域的问题进行了广泛的交流和讨论。

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